클린룸 시​​스템

클린룸 개요

Clean Room 기준

미국 연방기준 U.S Fed. Std 209 E안에 의하면 공기 청정실을 다음과 같이 정의하고 있다. “공기중의 입자상 물질(미립자)를 온도, 습도 및 압력과 함께 필요에 의해서 제어하는 지역이다.” 이 기준에 의해서 정의 되어진 공기 청정실의 요구를 만족하기 위해서는 모든 공기 청정실은 Class별로 나누어 명기되어 있는 입자수를 유지할 필요가 있다.

용어의 정의

- 청정(Clean) : 먼지와 오염이 없는 깨끗한 상태

- 청정도(Cleaness) : 공간의 상태중 일정량의 공기중에 포함한 먼지나 오염의 정도를 말하며, 일반적으로 1세제곱 feet(ft3)의 체적 공기에 포함된 먼지의 수로 표시한다.

- 청정등급(Class) : 청정실의 청정도를 수별하기 위하여 규정된 등급

- 오염(Contamination) : 공정 제품의 기능 신뢰성등에 결함을 일으키는 모든것

- 먼지(Particle, Dust) : 청정실내에 존재하는 모든 먼지 입자

- 청정실(Clean Room) : 먼지가 제거되고 관리 유지되는 깨끗한 공간

- 방진복(Clean Room Garment) : 사람의 몸에서 발생하는 먼지가 청정실로 빠져나가지 않도록 착용하는 의복.

- 수율(Yield) : 생산된 제품중 양품이 차지하는 비율

클린룸 5원칙

클린룸 규격

크린룸의 규격은 KS, JIS 규격이 있으나 ICR(Industrial Clean Room)에는 미국연방규격(U.S Fed. Std. 209 E)과 BCR에는 Bio Clean 미국 항공우주국(NASA-NHB-5340-2)이 일반적으로 사용되고 있습니다.

※ 표에 나타난 클래스와의 입자 농도를 나타내는 값은 다음식으로부터 구할 수 있다.

- SI단위 : C=10x(0.5/Dp) or M=log[Cx(0.5/Dp)]

- English 단위 : C=Nc(0.5/Dp) or Nc Cx(0.5/Dp)

- 여기서 C : 입자농도 [SI 단위 : Particle/㎡][English 단위 : Particle/㎡]

- M : Class [SI 단위]

- Nc : class [SI 단위]

- Dp : 입자직경[μm]

클린룸 분야별 청정도

INDUSTRIAL CLEAN ROOM (전기, 전자, 기계 분야적용)

산업용 크린룸(Industrial Clean Room)은 반도체 산업 뿐만이 아니라 정밀기기, 광학기기, 자기테이프나 사진용 필름, 인스턴트 식품의 제조와 포장, 특수인쇄 등의 I.C.R에서 요구되는 청정도는 당연히 각가의 공정에 따라 다릅니다. 그리고 CleanRoom은 외부로 부터 진애 입자등을 유입시키지 않기 위하여 시설 전체를 오염구역, 준청정구역, 청정구역으로 구성할 필요가 있습니다. 

이 구역간에는 Air Shower나 Pass Box를 통한 출입을 하여 공간과 공간사이에 공기의 유통을 막으며 각 공간에는 공기의 역류등을 방지하기 위하여 Damper를 사용하여 효율적인 청정도 유지를 기하여야 합니다.

INDUSTRIAL CLEAN ROOM

실내 환경기류가 천정면에 배치되어 있고 HEPA Filter및 ULPA Filter가 청정공기를 흡출한다.

실내공기의 배기와 실외공기의 공급기를 효율적으로 유지시켜 줍니다.

실내 청정도는 Class 1~100,000 가능하다. 조명과 작업 목적에 따라 각 형식을 채택하여 실내의 

항온항습사양, 암실사양, 약품제조, 반도체산업, 전자부품, 광학산업, 항공산업등 작업 목적에 따라

효율적인 설계에 의하여 시공을 합니다.

BIO CLEAN ROOM 

(식품, 의료, 화장품 등 첨단 바이오 테크놀러지의 적용)

바이오 크린룸(Bio Clean Room, 약칭 BCR)은 생물학적 오염이 제어되는 청정실을 말합니다. 미생물을 제어대상으로 하는 BCR(Bio Logical Clean Room)은 의약품 제조 공정의 GMP(Good Manufacturing Practice : 우수 의약품의 제조 관리 기준)와 병원 수술실에서의 무균화의 필요성에 의해 발전해 왔습니다.

또한 식품, 화장품 산업에서도 점차 GMP에 준하는 Clean Room이 적용되고 있으며 이미 레토르트 식품, 저장기간이 긴 식품(간장, 된장, 햄, 소시지 등)의 제조 공정과 주류와 음료 충진 공정 등에서는 크린룸이 적용되고 있습니다.

BIO CLEAN ROOM

바이오 크린룸의 응용분야는 제약에서 비롯하여 병원의 수술실 또는 입원실, 실험동물 사육실,

식품제조공정, 화장품, 농업 등의 청정실과 실험자에 대한 감염방지나 오염원의 실험실 외부로의

유출을 방지하는 바이오 헤저드(Bio Hazard) 시설 등에 폭넓게 응용되고 있습니다.

CLEAN EQUIPMENT